NH3烘烤箱三个技术维度

NH3烘烤箱作为特殊气氛热处理设备，其核心功能体现在三个技术维度：


首先采用316L不锈钢密封腔体配合双层水冷结构，实现工作温度200-600℃范围内的氨气环境稳定维持，泄漏率＜0.5%/h。其次创新的气流循环系统通过导流板设计形成层流态氨气分布，配合0.1-5L/min流量可调的氨气注入装置，使得工件表面氮化反应均匀性提升40%。设备集成尾气处理模块，采用三级催化分解技术将残余氨气转化为氮气和水，处理效率达99.8%。智能控制系统配备氧含量分析仪和露点监测器，实时反馈调节氨气纯度（≥99.995%）和湿度（≤-40℃DP）。


NH3烘烤箱安全防护方面配置防爆电气组件、负压联锁和应急氮气置换系统，符合ATEX防爆认证要求。特殊设计的石英加热管表面经特殊处理，在氨气环境中使用寿命达5000小时以上。该设备广泛应用于半导体硅片氮化、磁性材料渗氮等精密工艺，其稳定的氨气环境为表面改性反应提供理想条件，相比传统氮化炉可降低能耗30%以上。