在精密制造向微米级、亚微米级演进的过程中，光学设备与自动化设备的协同精度直接决定了产线良率。志圣科技（深圳）有限公司深耕设备技术研发二十余年，围绕曝光机、光学设备、自动化设备与精密设备构建了完整的技术矩阵。以下从三个维度拆解其核心技术优势。

一、曝光机光源系统与对准精度的突破

志圣科技（深圳）有限公司：曝光机，光学设备，自动化设备，精密设备，设备技术研发——这一关键词串起的正是公司的技术主线。其新一代曝光机采用多波段LED光源模组，波长均匀性控制在±1.5%以内，配合双CCD视觉对位系统，重复对位精度可达±1.2μm。相比传统汞灯方案，能耗降低约40%，光源寿命提升至20000小时以上。

二、光学设备与精密设备的模块化设计

光学设备的核心在于光路稳定性。志圣科技采用花岗岩基座+气浮平台结构，热膨胀系数控制在0.5×10⁻⁶/K，有效抑制温漂。精密设备则引入闭环反馈控制，实时补偿机械误差。

• 自动化设备：支持SECS/GEM协议，无缝对接MES系统
• 光学设备：可切换远心镜头与显微物镜，适配不同视场
• 精密设备：重复定位精度±0.8μm，适用于COG/FOG绑定

三、案例：某面板厂曝光工序良率提升

华南某6代线面板厂引入志圣科技（深圳）有限公司的自动化设备与曝光机联线方案后，曝光工序良率从92.3%提升至97.6%，换型时间缩短35%。设备技术研发团队针对其产线节拍定制了双工位并行架构，单机UPH提升至180片。

从光源到对位，从单机到联线，志圣科技（深圳）有限公司：曝光机，光学设备，自动化设备，精密设备，设备技术研发的每个环节都指向同一个目标——让精密制造更稳定、更高效。若您正面临微米级加工难题，欢迎访问产品中心查看详细规格。